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本发明涉及一种基于微结构压电薄膜的柔性压力传感器及制备方法，属于压力传感器领域，该柔性压力传感器从下至上包括紧密贴合的下层柔性基底、力敏结构层和上层柔性封装层；所述的力敏结构层从下至上包括下层电极层、压电薄膜层和上层电极层，压电薄膜层上表面...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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