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一种基于零反射差分信号测量各向异性薄膜的方法，涉及薄膜厚度检测领域，包括以下步骤：利用反射差分光谱仪、光弹调制式反射差分光谱仪测得样品的宽波段反射差分光谱；确定零反射差分信号对应的入射波长：在宽波段反射差分光谱中遍历所有波长通道，确定反射差...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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