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本申请提供一种基板加工装置，基板加工装置包括：基板载置台；至少一个基座，与基板载置台相对设置；至少一个升降杆，至少一个升降杆的相对两端分别与基板载置台以及所述基座连接；至少一个波纹管，至少一个波纹管围绕至少一个升降杆设置，且至少一个波纹管的...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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