温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种匀化溶液掺杂方法，包括溶液存储器、导管、喷洒器、硬质空心管、石英反应管、电动升降台、导轨、速度传感器、带压力调节阀的氮气输送管和支撑座，空心管的一端连接溶液储存器，另一端连接溶液喷洒装置，该溶液储存器对溶液进行压力控制，匀速输...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。