下载单基片多参量声表面波传感器及其地址识别、校验方法的技术资料

文档序号:37459691

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本发明提供了一种单基片多参量声表面波传感器,包括基片,所述基片上设置有主叉指电极,所述主叉指电极的第一侧设置有阻抗测试叉指电极和/或温度测试反射珊,所述主叉指电极的第二侧设置有多个气体组分测试子叉指电极和气体组分参考校准叉指电极,所述主叉指...
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