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本发明提出了一种基于双SOI结构的背栅辅助RESURF系统及双SOI结构的制造方法,包括双SOI结构和外围背栅自动电压优化控制电路,其中外围背栅自动电压优化控制电路可对双SOI结构的背栅进行电压控制。本发明与传统的RESURF技术相比,在击...该专利属于南京邮电大学南通研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学南通研究院有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种基于双SOI结构的背栅辅助RESURF系统及双SOI结构的制造方法,包括双SOI结构和外围背栅自动电压优化控制电路,其中外围背栅自动电压优化控制电路可对双SOI结构的背栅进行电压控制。本发明与传统的RESURF技术相比,在击...