下载一种劈尖正交激光自混合干涉位移检测装置及方法的技术资料

文档序号:37453151

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本发明提出了一种劈尖正交激光自混合干涉位移检测装置及方法,将劈尖加入到激光自混事干涉系统的外腔,由此可以得到一对具有相位差的自混合干涉信号,而且相位差可以通过改变第二光澜的位置进行便捷地调节,从而实现简单、便捷的正交位移重构,解决了因为光学...
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