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一种用于电子级缓冲氧化物蚀刻液生产的智能控制系统，其获取由摄像头采集的待蚀刻半导体器件的表面状态图像；采用基于深度学习的人工智能技术，挖掘待蚀刻半导体器件的表面状态的时序动态变化特征，基于此来实现对待蚀刻半导体器件的表面状态的快速准确地测量...
该专利属于福建天甫电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建天甫电子材料有限公司授权不得商用。

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