下载电子器件安装设备的线性驱动机构的技术资料

文档序号:3745008

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在用于通过包括定子(16)和移动元件(17)的线性马达沿着Y方向移动X线性驱动机构(8)的Y线性驱动机构(6)中,设置了一个驱动传递部分,该驱动传递部分连接到移动元件(17)上,以便将作用在Y方向上的移动元件(17)的驱动力传递过移动板(1...
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