下载流体设备及其用途的技术资料

文档序号:37448340

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本发明的流体设备具备至少一部分具有在一个面上进行开口的多个同一形状的孔规则地配置而成的孔阵列的基板、以及与上述孔阵列相向配置的盖构件,上述孔阵列与上述盖构件之间的空间形成流体流过的流路,上述孔阵列的任意孔A的开口部的重心Ca与最接近上述孔A...
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