温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种硅片清洗装置，包括：硅片清洗系统，硅片清洗系统包括依次设置的载具与硅片分离单元、硅片合并单元、清洗单元及硅片分离单元，载具与硅片分离单元对上载的装有硅片的上载载具进行硅片和上载载具分离，多组分离后的硅片进入硅片合并单元进行合并...
该专利属于中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。