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本发明公开了一种声波器件及其制备方法。声波器件包括衬底晶圆；压电晶圆，位于衬底晶圆一侧；金属电极，位于压电晶圆远离衬底晶圆一侧，金属电极与压电晶圆接触；衬底晶圆设置有第一开口结构，沿第一方向，第一开口结构贯穿衬底晶圆；压电晶圆靠近衬底晶圆一...
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