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本发明涉及电子光学成像技术领域，尤其涉及一种背散射电子闪烁体探测器装置及探测方法，装置包括背散射电子接收传感器、光学聚光组、光学传输组、光电转化系统和探测器保护机构，通过使用闪烁体作为传感器，接收工业电子枪电子束偏扫产生的背散射电子信号，再...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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