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本发明公开了一种基于激光蚀刻的3D雕刻系统及方法，该3D雕刻系统包括自远端至近端依次设置的激光器、扩束镜、3D振镜以及远心场镜，激光器用于输出激光，扩束镜用于调整激光器输入到3D振镜中的光斑的大小，其中，3D振镜中还配置有3D图形处理器，3...
该专利属于广东中科微精光子制造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东中科微精光子制造科技有限公司授权不得商用。

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