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本发明公开了一种三维扫描位移平台，包括静电驱动式的面内二维定位平台、压电致动组件和固定边框，所述压电致动组件包括偶数个压电致动单元，所述压电致动单元通过在硅基底上设置压电薄膜片形成，各个所述压电致动单元的一端连接在所述面内二维定位平台的外边...
该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）授权不得商用。

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