下载一种垂直腔面发射激光器封装结构及封装方法的技术资料

文档序号:37422391

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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器封装结构及封装方法,封装结构包括管壳、制冷器和VCSEL芯片,所述制冷器贴装在所述管壳上,所述VCSEL芯片直接键合在制冷器的冷端。本发明的垂直腔面发射激光器封装结构,由于VCSEL芯片为垂直腔面结构,该结...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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