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本申请提供一种离子植入机及晶圆固定板的角度确定方法，包括晶圆固定板，用于固定晶圆；驱动组件，与晶圆固定板固定连接，通过控制驱动组件转动以改变晶圆固定板与竖直方向之间的角度；驱动组件具有与晶圆固定板平行的目标表面；位于离子植入机内侧壁上的激光...
该专利属于武汉楚兴技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉楚兴技术有限公司授权不得商用。

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