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本实用新型公开一种基于柔性铰链的压电定位平台及工业相机,涉及微纳定位平台领域。本实用新型中压电定位平台包括平台基底和固定于所述平台基底上的定位平台,定位平台上设置有通孔,所述通孔内设置有移动部和预紧压块;压电定位平台还包括压电陶瓷,安装在移...该专利属于合肥埃科光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥埃科光电科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种基于柔性铰链的压电定位平台及工业相机,涉及微纳定位平台领域。本实用新型中压电定位平台包括平台基底和固定于所述平台基底上的定位平台,定位平台上设置有通孔,所述通孔内设置有移动部和预紧压块;压电定位平台还包括压电陶瓷,安装在移...