下载一种蒸镀设备的技术资料

文档序号:37406769

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本实用新型涉及一种蒸镀设备,其包括封闭舱、蒸镀源装置、抽真空装置和旋转装置。所述蒸镀源装置设置于封闭舱内。所述抽真空装置连通封闭舱。所述旋转装置设置于封闭舱内部的上端位置,包括旋转电机和转盘,所述旋转电机驱动转盘转动;所述转盘的外周圆周布设...
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