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本发明涉及一种半导体型驻极体材料、制备方法及应用。由于绝缘驻极体与半导体能级不匹配，基于电荷捕获的存储器往往在高电压、加热的条件下通过较长时间才能将电子由半导体注入到绝缘驻极体。本方法使用臭氧联合氧等离子体的方式处理n型半导体材料，令n型半...
该专利属于陕西谱光微视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西谱光微视科技有限公司授权不得商用。

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