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金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板技术
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文档序号:37395211
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一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板,包括:衬底;位于衬底上由第一金属层经蚀刻图案化形成的扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的栅极绝缘层;位于栅极绝缘层上依次设置的金属氧化物半导体层、第二金属层和隔离绝缘层;其中,隔离绝缘层、...
该专利属于昆山龙腾光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山龙腾光电股份有限公司授权不得商用。
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