下载金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板的技术资料

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一种金属氧化物薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和显示面板,包括:衬底;位于衬底上由第一金属层经蚀刻图案化形成的扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的栅极绝缘层;位于栅极绝缘层上依次设置的金属氧化物半导体层、第二金属层和隔离绝缘层;其中,隔离绝缘层、...
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