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本发明提供了一种自由度解耦的静电加速度计，属于加速度传感测试领域，包括：敏感探头、电容位移传感电路、反馈静电执行机、PID控制器、DAC电路和偏置电压驱动器；检验质量块的表面被分离成独立的几个部分，DAC电路将正负幅值的模拟偏置电压分别施加...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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