下载除尘装置的技术资料

文档序号:37377114

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在除尘装置中,有效地抑制粉尘类的飞散。一种除尘装置(1),上述除尘装置与工件的被处理面(H)相对地配置,其中,除尘装置(1)包括:设置有朝向工件(W)喷射空气流(S、T)的第一喷射口(7a)的第一喷射室(7);设置有抽吸口(9a)的抽吸室(...
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