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本发明提供一种超导腔等离子体清洗的电路装置及其使用方法，其装置包括依序连接的信号源、功率放大器、环形器、定向耦合器、支节调谐器、偏置器、功率耦合器以及超导腔，定向耦合器的两个耦合端口及超导腔的功率提取端口连接至功率监测设备，各个射频器件之间...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。

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