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本实用新型公开了一种坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备，所述支撑组件包括：坩埚托，所述坩埚托支撑于坩埚的底部，所述坩埚托形成第一腔体；坩埚轴，所述坩埚轴与所述坩埚托连接，所述坩埚轴形成第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通形成冷却腔；分...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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