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非金属隔膜耗气装置及使用方法制造方法及图纸
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下载非金属隔膜耗气装置及使用方法的技术资料
文档序号:37370061
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本发明提供了一种非金属隔膜耗气装置及使用方法,包括:装置主体、非金属隔膜以及刺破结构;所述装置主体一端安装所述非金属隔膜,另一端安装所述刺破结构,所述装置主体内部设置空腔,所述空腔通过排气孔连通外界,所述排气孔设置在所述非金属隔膜和所述刺破...
该专利属于上海空间推进研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海空间推进研究所授权不得商用。
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