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本实用新型属于半导体加工技术领域，提供了一种设置有柔性吸盘的纳米压印装置及半导体加工设备，包括：工作台；位移台，架设于工作台上方且顶部安装有基片；压印机构，设置于位移台上方，包括负压腔体、设置于负压腔体下端口的柔性吸附件、以及设置于负压腔体...
该专利属于深圳市雕拓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市雕拓科技有限公司授权不得商用。

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