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一种光栅离焦造成的光栅剪切干涉系统误差补偿方法，通过将像面光栅离焦后测得的拟合波前的Z4、Z9项Zernike多项式的系数替换为像面光栅位于焦平面时的相应系数，再次重新拟合波前实现系统误差的算法补偿，同时该方法计算出像面光栅的实际离焦距离，...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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