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本发明揭示了一种半导体晶体解理设备及解理方法，半导体晶体解理设备包括：基台，基台的上表面适于放置半导体晶体；第一位置调节单元，第一位置调节单元适于调整基台的空间位置；X射线光源，位于基台的上方，X射线光源适于出射X射线；光电探测器，光电探测...
该专利属于苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司授权不得商用。

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