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本发明提出了一种探针卡的测评方法，通过对分布于所述待测晶圆中心位置的压电陶瓷力传感器阵列中所包含的N*N个压电陶瓷组件的钨和铜上下两极板间的电压和位移依次进行精确测量，并利用正压电效应计算获得所述探针针位、平面度和弹性系数三个参数，通过三个...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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