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本实用新型提供一种半导体盘类部件夹持结构，包括两个夹持板，两个夹持板的内侧固定安装有第一电动液压杆，夹持板的顶部设有若干个夹持块，若干个夹持块的两侧均固定安装有两个活动铰链，两个活动铰链的活动端固定安装有电动伸缩杆，其中一个夹持块的一端与第...
该专利属于常州京洋半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州京洋半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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