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本发明属于光学薄膜质量检测领域，具体说涉及一种膜缺陷检测方法及装置，利用光接收机构对从光发射机构向膜表面照射的TD方向多角度和/或多种发光强度的检查光在膜表面所反射的反射散射光进行检测；或，从光发射机构向膜照射的TD方向多角度和/或多种发光...
该专利属于浙江洁美电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江洁美电子科技股份有限公司授权不得商用。

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