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提供了可以更高效地将活性氧供给到被处理物的表面的活性氧供给装置、可以更高效地使用活性氧处理被处理物的表面的利用活性氧的处理装置、以及可以更高效地使用活性氧处理被处理物的表面的利用活性氧的处理方法。活性氧供给装置是在具有至少一个开口的壳体中配...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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