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本发明公开了一种微波等离子体激发装置及其参数优化方法，该激发装置包括波导腔体，所述波导腔体包括依次相连通的第一腔体、第二腔体和第三腔体，所述第一腔体穿过有石英管，与所述第一腔体交接处的所述石英管的内壁处嵌套有辅助激发导体，所述石英管的一端设...
该专利属于苏州市鸿清环能智慧科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市鸿清环能智慧科技有限公司授权不得商用。

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