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本发明涉及一种光学位置测量设备，用于检测至少两个标尺的相对位置，标尺可沿两个测量方向相对彼此移动，并且标尺布置在不同的平面中并彼此相交地布置。这两个标尺各自具有至少一个测量分度，测量分度具有带不同光学特性的沿至少一个测量方向周期性地布置的光...
该专利属于约翰内斯.海德汉博士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰内斯.海德汉博士有限公司授权不得商用。

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