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一种石英坩埚取放装置制造方法及图纸
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下载一种石英坩埚取放装置的技术资料
文档序号:37338499
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本实用新型公开了一种石英坩埚取放装置,其涉及石英坩埚夹技术领域,其主体设置有夹持组件,所述夹持组件设置有主控组件,主控组件控制连接于夹持组件,主控组件用于控制夹持组件实现夹持石英坩埚的动作,同时在夹持组件上设置耐高温压力传感器,耐高温压力传...
该专利属于浙江美晶新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江美晶新材料有限公司授权不得商用。
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