下载一种双气压腔芯体、压力扫描阀及制备方法的技术资料

文档序号:37334809

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本发明公开了一种双气压腔芯体、压力扫描阀及制备方法,属于传感器技术领域,该双气压腔芯体包括双气压腔芯片和封装壳体,双气压腔芯片设置于封装壳体内;该压力扫描阀由多个双气压腔芯片和芯体密封板密封固定制得;由该双气压腔芯体制成的压力扫描阀具有上下...
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