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本发明属于等离子体处理技术领域，公开一种等离子体处理装置，包括腔体、第一电极及第二电极，第一电极与第二电极相对设置在腔体内；第一电极由内向外依次分割为第一分割电极、环形的第二分割电极以及第三分割电极，第三分割电极分为多个边缘分割电极，第一分...
该专利属于深圳市矩阵多元科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矩阵多元科技有限公司授权不得商用。

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