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本发明公开了一种光芯片修复技术及设备，是依据超快激光非接触式且微纳米量级调控材料的特点，作为修复光芯片的关键技术，并通过实时检测修复时光芯片的光学响应和修复状态变化、不断自动化反馈调整超快激光的修复参数，从而实现光芯片的性能提升和缺陷修复。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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