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GaN器件与SiC器件的集成芯片及其制作方法技术
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文档序号:37325738
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本发明提供了一种GaN器件与SiC器件的集成芯片,包括:第一SiC衬底;GaN驱动电路,所述GaN驱动电路包括第一沟道层;所述第一沟道层外延形成于所述第一SiC衬底上,且直接接触所述第一SiC衬底;第一功率器件,所述第一功率器件与所述GaN...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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