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文档序号:3732121
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一种扫描方法,用于将图案写在平面上,包括:提供一扫描光束,包括多个独立可编址的子光束;以该扫描光束扫描平面若干次,该子光束于交叉扫描方向并排扫描平面,每一该子光束经调谐以反射待写入之数据;及重叠光束,使得在至少二次扫描期间,平面的写入区域皆...
该专利属于激光影像系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过激光影像系统有限公司授权不得商用。
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