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一种组合环体和堆叠式热场装置制造方法及图纸
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下载一种组合环体和堆叠式热场装置的技术资料
文档序号:37315830
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本实用新型提供一种组合环体和堆叠式热场装置,应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中,所述热场装置包括一组合环体,所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠,两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽,两个所述连接凹槽...
该专利属于上海骐杰碳素材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海骐杰碳素材料有限公司授权不得商用。
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