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本发明公开了一种高效可控的类金刚石碳膜沉积装置，包括底座，所述底座背面固定有竖直的导轨，所述导轨中可伺服滑动地设有滑台，所述滑台内设有石英罩，所述底座上对称地设有两根支撑杆，所述支撑杆中共同贯穿有多片承载盘，所述支撑杆顶部共同固定到密封盖中...
该专利属于苏州普锐仕精密光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普锐仕精密光学科技有限公司授权不得商用。

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