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本发明提供不破坏真空、能高精度地受控移动工件的穿孔装置用作业台、以及穿孔装置。即使在工件Ｗ上产生局部微小的挠曲变形，由于把空气吸引室５…分成若干块，所以可防止真空破坏。使加工对象部（目标记号）受控移动并落在监视画面内后，吸附时，从与挠曲变形...
该专利属于UHT株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过UHT株式会社授权不得商用。

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