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本实用新型提供一种真空镀膜设备，包括真空腔体、蒸镀材料加热部件、旋转支架和气体扩散部件；所述蒸镀材料加热部件、所述旋转支架和所述气体扩散部件设于所述真空腔体内；所述旋转支架设于所述蒸镀材料加热部件和所述气体扩散部件之间。本实用新型真空镀膜设...
该专利属于上海德弘世恩科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海德弘世恩科技有限公司授权不得商用。

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