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本发明公开了一种CVD炉的炉温均匀性的校准方法，取两支热电偶，其中热电偶A由CVD炉的上方测温孔插入炉内，使热电偶A在炉内的一端位于CVD炉有效工作区域的最顶端；热电偶B由CVD炉的下方测温孔插入炉内，使热电偶B在炉内的一端位于CVD炉有效...
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