下载嵌套气室及确定在嵌套气室形成同心圆形光斑的方法的技术资料

文档序号:37307591

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本发明公开了一种嵌套气室及确定在嵌套气室形成同心圆形光斑的方法,嵌套气室包括共轴相对布置的第一镜面、第二镜面,其中,第一镜面、第二镜面分别包括共轴嵌套设置的外凹面镜和内凹面镜,所述外凹面镜和内凹面镜均为圆形;所述第一镜面或第二镜面上设有入射...
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