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一种手自一体型干吸附式尾气处理器制造技术
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文档序号:37307371
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本发明提供了应用于尾气处理领域的一种手自一体型干吸附式尾气处理器,本申请通过两个填料罐的设置,一备一用,半导体生产的废气通过进气阀的控制由进气管道的支管进入单一填料罐,在该填料罐的吸附填料进行反应,通过吸附剂吸收处理,维护人员可依次通过箱体...
该专利属于安徽壹月科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽壹月科技有限公司授权不得商用。
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