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本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度质量传感器模块及其工作方法，模块包括传感模块和控制电路模块，其中传感模块包括用于测量沉积在其表面的气体的声表面波谐振器、用于用户对声表面波谐振器进行降温或者加热的帕尔贴、用于测量声表面波谐振...
该专利属于中电科芯片技术（集团）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电科芯片技术（集团）有限公司授权不得商用。

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