下载一种高频退火装置的技术资料

文档序号:37303411

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本实用新型涉及退火技术领域,尤其涉及一种高频退火装置,解决了现有技术中针对设置在退火炉深处的坩埚进行取放料时,不便于对坩埚内部的物料进行取放,进而降低了退火操作的效率的问题。一种高频退火装置,包括退火炉和两个安装在退火炉内壁的加热板,退火炉...
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